VK-X3000創(chuàng)新點(diǎn)：①掃描方式升級(jí)：上一代VK-X1000系列有兩種掃描方式（聚焦變化、激光共聚焦），新一代VK-X3000系列升級(jí)為三種掃描方式（聚焦變化、激光共聚焦、白光干涉），可以根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測(cè)量范圍選擇適合的掃描方式，進(jìn)行高精度測(cè)量。掃描方式升級(jí)，最高分辨率由以前的0.5nm提升至0.01nm，微小形狀也能準(zhǔn)確獲取，支持難以?huà)呙璧耐该黧w和鏡面體。②配件升級(jí)：VK-X1000系列配備的是0.5nm線(xiàn)性標(biāo)尺，VK-X3000系列升級(jí)為0.1nm線(xiàn)性標(biāo)尺。配備高精度線(xiàn)性標(biāo)尺，以0.1nm的高分辨率識(shí)別物鏡的Z位置，從而實(shí)現(xiàn)更加細(xì)微的凹凸檢測(cè)。③增加CAD比較測(cè)量功能。
基恩士 形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000系列
搭載白光干涉功能 ，納米/微米/毫米一臺(tái)即可完成測(cè)量
超越激光顯微鏡的限制，以三重掃描方式應(yīng)對(duì)
一臺(tái)即可測(cè)量納米/ 微米/ 毫米
一臺(tái)即可了解希望獲取的信息
納米級(jí)分辨率
https://www.chem17.com/st525722/list_2356011.html
https://www.chem17.com/st525722/product_36940586.html 高清工業(yè)顯微鏡
