重新構(gòu)想的大批量自動(dòng)化S/TEM成像和測(cè)量技術(shù)成像和計(jì)量技術(shù)
快速、準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)。MetriosDX是一款重新設(shè)計(jì)的80-200kV掃描/透射電子顯微鏡，能夠以吞吐量提供基于TEM和S/TEM的、可重復(fù)的成像、分析和可測(cè)量計(jì)量結(jié)果。
ThermoScientific?Metrios?DXTEM將成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的功能結(jié)合，是需要對(duì)日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和更小的尺寸進(jìn)行更大量精確測(cè)量的半導(dǎo)體和內(nèi)存環(huán)境的平臺(tái)是半導(dǎo)體和存儲(chǔ)環(huán)境對(duì)先進(jìn)制程日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和不斷縮小的尺寸進(jìn)行大量精準(zhǔn)測(cè)量的平臺(tái)。
與傳統(tǒng)S/TEM系統(tǒng)相比電子顯微鏡相比，賽默飛MetriosDX掃描/透射電子顯微鏡能夠以每樣品低得多的成本提供“一次即準(zhǔn)確的”數(shù)據(jù)能夠以更低的每樣品成本提供的數(shù)據(jù)。MetriosDXTEM提供的吞吐量，同時(shí)可以最大限度地減少射束損傷。ThermoScientificDual-X?EDS系統(tǒng)的能譜儀的1.8srad立體角成倍增加了成倍增加了Super-X能譜儀系統(tǒng)上的X射線計(jì)數(shù)計(jì)數(shù)。自動(dòng)探針校正器可以在自動(dòng)球差校正器可以保持1周以上的時(shí)間內(nèi)使3階或更高階像差保持穩(wěn)定階或更高階像差穩(wěn)定一周以上，同時(shí)可全自動(dòng)對(duì)焦、校正像散、像差和3倍像散。MetriosDXTEM可以在80kV下全自動(dòng)運(yùn)行，與在200kV下運(yùn)行的Super-X相比，EDS吞吐量吞吐量可實(shí)現(xiàn)4倍X提升，同時(shí)顯著減小射束損傷。
賽默飛MetriosDX掃描/透射電子顯微鏡主要優(yōu)勢(shì):
一致、可重復(fù)、精確，可重復(fù)、重新設(shè)計(jì)，可提供基于TEM和S/TEM的可重復(fù)的成像、分析和可測(cè)量計(jì)量結(jié)果，免于人工操作誤差不會(huì)出現(xiàn)操作誤差
有保證的計(jì)量精度，TEM和S/TEM的失真和放大倍數(shù)校準(zhǔn)組合誤差小于1%
自動(dòng)EDS和混合測(cè)量技術(shù)，自動(dòng)采集和量化EDS數(shù)據(jù)。對(duì)主要關(guān)鍵尺寸使用元素對(duì)比來(lái)測(cè)量以擴(kuò)展STEM
工作流環(huán)環(huán)相扣，在樣品制備、挖蝕和成像過(guò)程中跟蹤關(guān)鍵流程數(shù)據(jù)提取和成像過(guò)程中跟蹤關(guān)鍵流程數(shù)據(jù)。可以離線使用測(cè)量技術(shù)，最大限度地延長(zhǎng)機(jī)臺(tái)工具的數(shù)據(jù)采集時(shí)間。所有成像和計(jì)量數(shù)據(jù)均在基于Web的圖像查看器中進(jìn)行合并統(tǒng)一。
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