高清工業(yè)顯微鏡

　　VK-X3000創(chuàng)新點(diǎn)：①掃描方式升級：上一代VK-X1000系列有兩種掃描方式（聚焦變化、激光共聚焦），新一代VK-X3000系列升級為三種掃描方式（聚焦變化、激光共聚焦、白光干涉），可以根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測量范圍選擇適合的掃描方式，進(jìn)行高精度測量。掃描方式升級，最高分辨率由以前的0.5nm提升至0.01nm，微小形狀也能準(zhǔn)確獲取，支持難以掃描的透明體和鏡面體。②配件升級：VK-X1000系列配備的是0.5nm線性標(biāo)尺，VK-X3000系列升級為0.1nm線性標(biāo)尺。配備高精度線性標(biāo)尺，以0.1nm的高分辨率識別物鏡的Z位置，從而實(shí)現(xiàn)更加細(xì)微的凹凸檢測。③增加CAD比較測量功能。

　　基恩士 形狀測量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000系列

　　搭載白光干涉功能 ，納米/微米/毫米一臺即可完成測量

　　超越激光顯微鏡的限制，以三重掃描方式應(yīng)對

　　一臺即可測量納米/ 微米/ 毫米

　　一臺即可了解希望獲取的信息

　　納米級分辨率

　　高清工業(yè)顯微鏡采用了三重掃描方式，運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度，

　　以及鏡面體，透明體等。VK擁有應(yīng)對多種樣品的測量能力（從 1 nm 到 50 mm），納米/微米/毫米一臺完成測量。

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