三溫區(qū)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) BTF-1200C-III-CVD

1200℃三溫區(qū)管式爐 BTF-1200C-III Φ100mm

主要特點(diǎn)：

1、可通氣氛抽真空，其開啟式結(jié)構(gòu)使得拆裝爐管方便，操作簡捷，使用者可直接將密封腔體移出爐體，加快降溫過程；

2、根據(jù)管徑不同，法蘭分為卡箍和折頁兩種密封方式，安裝拆卸簡便快捷，減去了取放料時的繁瑣操作。

3、爐管工件橫穿與上下各6組進(jìn)口電阻絲的爐膛，溫場均勻，內(nèi)外溫差可控制在3度左右；

4、體積小，性價(jià)比高。該設(shè)備廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：

額定功率：9KW

額定電壓：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

最高溫度：1200℃

持續(xù)工作溫度≤1100℃

推薦升溫速率：15℃/min

爐管尺寸：高純石英管Φ100*1400mm

加熱區(qū)長度：300+300+300mm

恒溫區(qū)長度：500mm

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲

標(biāo)準(zhǔn)配件： 石英管1支，氧化鋁管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支

尺寸：1080×440×590 mm（長*寬*高）

包裝尺寸：1570×570×880 mm（木箱）

凈重：90KG

毛重：118KG

供氣系統(tǒng)4路質(zhì)子觸摸屏控制 GMF-4Z

主要特點(diǎn)：

該供氣系統(tǒng)是一種可控制四種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制，此款設(shè)備與BEQ品牌的各款真空管式爐和真空機(jī)組組成CVD系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)：

工作電壓：185~245V，50 Hz

最大輸出功率：18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：50sccm 100sccm 200sccm 500sccm（非特殊指定以氮?dú)鈽?biāo)定）

工作溫度：4~45℃

工作壓差：0.1~0.5Mpa

最大壓力：3Mpa

準(zhǔn)確度：±1.5%F.S

壓力表測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

針閥：316不銹鋼

混氣罐：Φ80*120mm

截止閥：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm

 低真空機(jī)組 VAU-02

設(shè)備特點(diǎn)：

VAU-02是一套低真空機(jī)組，內(nèi)部安裝德國萊寶D16C機(jī)械泵1臺，電阻真空計(jì)1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。

1、技術(shù)參數(shù)：

空氣相對濕度≤85%

工作電電壓：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽氣速率：16m3/h

極限真空：4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進(jìn)氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:600×600×650m

2、真空計(jì)參數(shù)：國產(chǎn)成都正華

配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)，

測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa，

測量路數(shù)： 1路

控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa，

控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載，

電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

功耗： 20W